Фотолитографија

Шематски приказ на фотолитографскиот процес

Фотолитографија – е метод на цртање на тенки слоеви на материјал кој се користи во микроелектроника и во печатењето. Исто така, се нарекува „оптичка литографија“ и во суштина претставува формирање на слика на површината со изложување на фотосензитивен материјал. 'Фоторезист' - е посебен фотографски материјал што ги менува неговите физичко-хемиски својства кога е изложен на светлина.

Фотошаблон или Фотомаска - транспарентна плоча за осветлување на која има површина непробојна за светлината.

Процесот на фотолитографијата:

• На подлогата (во микроелектроника ова е најчесто силициум) се користи тенок слој на материјал за да се формира образецот. На него се применува фоторезист.
• Изложеност преку образец за фотографии (со контакт или метод на проекција).
• Изложените области на фоторезистот ја менуваат нивната растворливост и можат хемиски да се отстранат (процес манифестација). Регионите без фоторезист се подложени на последователен третман гравирање, во кој преостанатиот неотворен фоторезист служи како маска.
• Конечно, остатоците од фоторезистот се отстранети.

Процесот има и негативни и позитивни опции. Ако, по изложеност, растворливоста на осветлените области се промени (тие стануваат растворливи и се отстрануваат), процесот е позитивен; во спротивно - кога тие стануваат нерастворливи и остануваат - тоа е негативно.

Фотолитографијата денес има најчеста употреба во печатарството.